EDS能谱仪，是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线。
根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素，EDS可提供样品表面之微区。
EDS分析的几个关键问题1EDS分析的几个关键问题一、EDS定量分析方法及相关术语标准二、EDS定量对试样的要求三、低真空、环境扫描电镜的EDS分析四、EDS定量分析方法及校正方法五、EDS定量计算方法及归一化选择六、EDS定量误差及探。
1、分析方法很简单，EDS能谱都有直接定量分析的功能，为了准确，你可以多点分析（大于20个点），取平均值。
2、EDS是定性的分析，其结果只能作为参考，取面分析相对来说更好一点，但是也不可以作为定量分析。
3、EDS分析是分。
EDS（Energy Dispersive Spectrometer）：X射线能谱仪 EDS分析是分析元素种类的 利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析