magnetron [英]['mægnɪtrɒn][美]['mægnəˌtrɒn]n.磁电管;网络 磁控电子管; 磁控[电子]管; 磁控管;双语例句 1 Helium-charged Al films are prepared by direct cur。
单晶硅 [词典][计]monocrystalline silicon;[例句]利用非平衡磁控溅射技术在单晶硅基底上沉积了类石墨非晶碳膜。
Graphitelike carbon film was deposited on silicon substrates by unbalanced magnetron sputtering.
1. 直流磁控溅射（DC Magnetron Sputtering）：在直流电场下，通过以靶材为阴极的方式，产生靶材表面的离子化，再将离子加速后轰击基板，形成相应的薄膜。
2. 射频磁控溅射（RF Magnetron Sputtering）：利用射频交变电场和靶材表。
磁控溅射（Magnetron Sputtering）是一种常用的金属薄膜沉积技术，它能产生高质量、均匀的金属薄膜。
薄膜与基底的粘附性是评价溅射过程质量的重要指标之一，它受多种因素影响：1. **基底表面处理**：基底表面的清洁度、平整度。